荷蘭光刻機巨頭ASML稱中企可能侵權 公司否認

撰文:施予
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當地時間2月9日,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)在2021年財報中宣稱,中國企業東方晶源(Dong Fang JingYuan Electron,DFJY)正在中國積極銷售可能(could potentially)侵犯該公司知識產權的產品。而阿斯麥提到的東方晶源關聯公司XTAL,曾在2019年被美國法院判定侵犯阿斯麥知識產權。

據中國觀察網2月11日報道,阿斯麥中國方面則表示,此事與XTAL之前的侵權案有關,是年報中的正常披露。阿斯麥正在密切關注東方晶源的動態,目前尚未準備採取法律措施,但如果有確鑿證據該公司將訴諸法律。

據阿斯麥財報中披露的訊息,該公司在2021年初獲悉,一家與XTAL公司有關的公司正在中國積極推銷可能侵犯阿斯麥知識產權的產品,2019年XTAL曾因在美國盜取阿斯麥的商業秘密被判定做出賠償。作為回應,阿斯麥已經告知客户不要協助這家名叫「東方晶源「的中國公司從事此類潛在的侵權行為。阿斯麥還透露,該公司已向中國監管部門告知相關訊息,正在密切監測相關情況,並準備在適當的時機採取法律行動。

東方晶源全稱為東方晶源微電子科技(北京)有限公司,成立於2014年,總部位於北京亦莊經濟技術開發區,專注於集成電路良率管理。亦莊國投曾披露,東方晶源由中國500強企業東方集團投資控股,而東方集團是一家成立於1978年的大型投資控股型民營企業。

從具體業務來看,東方晶源主要產品為納米級電子束缺陷檢測裝備(EBI)和關鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)、計算光刻產品(OPC)以及微電子設計與製造智能良率優化平台(HPOTM)。該公司稱,其產品均為自主研發且處於國內領先水平,可以有效解決國內集成電路產業多個難點。

而阿斯麥官網顯示,該公司產品除光刻機之外,也包括用於提高晶片良率和質量的計算光刻,「如果沒有計算光刻,晶片製造商就不可能製造出最新的技術節點」。

有資深半導體行業人士表示,在光刻過程中,光的衍射以及感光層中的物理和化學效應會使光刻機試圖刻出的圖像變形,因此需要計算光刻進行校準和優化。簡單來說,計算光刻類似EDA中的算法,是一種晶圓廠需要購買的服務,如果曝光圖形跟實際掩膜(Mask)有差異,可以通過計算光刻提前修正掩膜確保得到想要的圖形。一般來說,如果晶圓廠覺得阿斯麥的計算光刻不夠好,也可以選擇第三方提供的產品,二者由此便會形成競爭。

本次阿斯麥除指控東方晶源可能侵權外,還特意提到東方晶源與XTAL存在關聯,而阿斯麥與XTAL的知識產權糾紛發生在數年之前。

2016年5月,阿斯麥向美國法院起訴美國公司XTAL,指控XTAL盜取阿斯麥美國子公司Brion的某些源代碼和知識產權,並且稱XTAL誘導和教唆阿斯麥員工在離職前秘密為其工作。

根據官方介紹,Brion是計算光刻概念的提出者,該公司2007年被阿斯麥收購。而XTAL於2014年由兩名曾在Brion工作過的員工創立,致力於提高半導體制造過程中的良率,業務也包括計算光刻。據當時的外媒報道,XTAL在成立後發展迅猛,而阿斯麥在失去一個關鍵客户的合同後開始對XTAL產生懷疑。

阿斯麥向法院提出的指控稱,在XTAL成立1年後,兩名阿斯麥員工辭職加入該公司,這兩名員工將Brion的商業機密複製到存儲設備上帶走,用於促進XTAL的業務,並且他們隨後還與兩名仍在Brion工作的前同事一起竊取機密訊息。

在這起案件的審理過程中,荷蘭媒體《Financieele Dagblad 》報道稱,XTAL涉案的六名員工全部是中文名字,而且XTAL是中國公司東方晶源的子公司。由此該媒體宣稱這起侵權案與中國政府有關係,阿斯麥的技術可能會落入中國手中,是一起所謂的「國家間諜活動」。

這種說法一出,阿斯麥率先表示反對。

2019年4月,該公司發布官方聲明稱,XTAL及其前員工的目的是利用竊取的商業秘密和知識產權發財致富(enrich themselves),阿斯麥沒有發現任何中國政府直接參與此事的證據。「我們對任何認為這起案件會影響阿斯麥在中國開展業務的說法表示不滿。其中一些人碰巧是中國公民,但也有其他國家的人參與其中。」

時任中國外交部發言人陸慷曾指出,中國和荷蘭在科技領域一直保持着良好的合作。我們多次重申,中國政府高度重視知識產權保護。我們一向要求海外的中國公民和企業遵守駐在國法律。至於中國自身,中國的科技發展一不靠偷,二不靠搶,是中國人民用自己的智慧和汗水,辛勤奮鬥出來的。

阿斯麥CEO温彼得則在一份聲明中稱,該公司對中國致力於尊重和保護非中國公司的知識產權感到鼓舞。

這家荷蘭企業當時沒有提到XTAL和東方晶源存在關係。但該公司披露,XTAL背後的資金來自中國和韓國,其目標是創造一種競品出售給阿斯麥在韓國的客户。阿斯麥同時透露,XTAL竊取的是用於掩模優化的軟件,這一業務與阿斯麥的主要業務是分開的,在該公司年收入中佔比不到1%。「因此,媒體關於阿斯麥核心技術受到影響的說法是不符合事實的。」