瑞銀:中國光刻機落後ASML近15年 尖端EUV短期難見替代方案

撰文:聯合早報
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瑞銀集團分析師預計,中國半導體制造能力未來十年內可能仍難取得足夠進展,以開發出可替代阿斯麥(ASML,又譯艾司摩爾)尖端極紫外光刻(EUV)技術的可行方案。

據彭博社報道,瑞銀分析師在一份報告中寫道:「它們(中國)目前的發展階段,似乎與阿斯麥2004年時相近。」

總部位於荷蘭的阿斯麥,是全球唯一一家生產先進光刻機的廠商。(ASML)

北京一直向國內晶片產業投入國家資本,以實現自給自足。不過,美國主導的尖端晶片製造設備出口限制,阻礙了這一進程。

總部位於荷蘭的阿斯麥,是全球唯一一家生產先進光刻機的廠商,這類設備對於製造先進半導體至關重要。中國是阿斯麥的主要市場之一,但這家晶片設備巨頭被禁止向中國出售極紫外光刻設備。

瑞銀分析師根據專利活動,尤其是光源和激光子系統方面的專利判斷,中國目前的技術成熟度與阿斯麥開始量產極紫外光刻設備前15年時相當。

阿斯麥(ASML,又譯艾司摩爾)為荷蘭光刻機企業。圖為2023年6月16日,ASML荷蘭費爾德霍芬總部的標誌。(REUTERS/Piroschka van de Wouw/File Photo)

分析師說:

考慮到中國光刻設備在良率和吞吐量方面可能與阿斯麥存在差距,加上監管限制,我們認為中國光刻設備不太可能在中國境外投入使用。

儘管如此,瑞銀預計,中國將在兩到五年內具備大規模製造浸沒式深紫外(DUV)光刻機的能力。雖然浸沒式深紫外光刻機不如極紫外系統先進,但仍是晶片製造的關鍵設備,通過光線將複雜的電路圖案印製到硅晶圓上。

瑞銀預計,中國將在兩到五年內具備大規模製造浸沒式深紫外(DUV)光刻機的能力。(中新社)

彭博社報道,阿斯麥的浸沒式深紫外光刻機售價接近9000萬美元。相比之下,先進的極紫外光刻設備每台售價超過2億美元。

此前,路透社7月28日引述消息人士證實中國開始生產國產DUV,並點名僅創立三年的上海愛晟納電子科技集團,在整合來自中國頂尖光刻初創公司的團隊後,正領導生產工作。

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